X射線熒光光譜儀(X-rayFluorescenceSpectrometer,簡稱:XRF光譜儀),是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。X射線熒光(X-rayfluorescence,XRF)是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析,特別是在金屬,玻璃,陶瓷和建材的調(diào)查和研究,地球化學(xué),法醫(yī)學(xué),考古學(xué)和藝術(shù)品,例如油畫和壁畫。
當(dāng)材料暴露在短波長X光檢查,或伽馬射線,其組成原子可能發(fā)生電離,如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢,足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子,然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定,在外軌道的電子會“回補(bǔ)”進(jìn)入低軌道,以填補(bǔ)以前的洞。在“回補(bǔ)”的過程會釋出多余的能源,光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。因此,物質(zhì)放射出的輻射,這是原子的能量特性。
主要使用X射線束激發(fā)熒光輻射,一次是在1928年由施雷伯提出的。到了現(xiàn)在,該方法作為非破壞性分析技術(shù),并作為過程控制的工具,廣泛應(yīng)用于采掘和加工工業(yè)。原則上,輕的元素,可分析出鈹(z=4),但由于儀器的局限性和輕元素的低X射線產(chǎn)量,往往難以量化,所以針對能量分散式的X射線熒光光譜儀,可以分析從輕元素的鈉(z=11)到鈾,而波長分散式則為從輕元素的硼到鈾。